Giới thiệu về công nghệ MEMS/NEMS tại phòng thí nghiệm Ono-Toàn, Đại học Tohoku Trương Thị Kim Tươi, Nguyễn Văn Toàn, Takahito Ono Giới thiệu về công nghệ MEMS-NEMS tại phòng thí nghiệm Ono-Toàn, Đại học TohokuDownload